等離子體被稱為物質的第四種形式，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體凈化器利用等離子體以每秒300萬至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子，使廢氣中的各種成分失活、電離、裂解，從而產生氧化等一系列復雜的化學反應，然后經過多級凈化，將有害物質轉化為潔凈的空氣，釋放到大自然中。
高壓發生器形成的低溫等離子體在平均能量約5eV的大量電子作用下，將通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化為各種活性粒子，與生活空氣中的O2結合，生成H2O、CO2等低分子無害物質，從而凈化廢氣。
經過長期研究發現，化學物質吸收能量(熱能、光子能、電離)后，其化學性質會變得更加活躍，甚至發生裂解。當吸收的能量大于化學鍵能時，化學鍵就可以斷裂，形成具有能量的自由原子或基團?？諝庵械难鯕庖环矫姹涣呀?，然后結合產生臭氧。另一方面，污染物的化學鍵斷裂，形成自由原子或基團。同時，產生的臭氧參與反應過程，使廢氣終裂解氧化成簡單穩定的化合物，如CO2、H2O、N2等。
低溫等離子體凈化設備主要適用于工業噴涂廢氣、印刷廢氣、化工廢氣、皮革工業廢氣、塑料造粒廢氣、垃圾轉運站廢氣、污水處理廠廢氣等各種工業有機廢氣的凈化處理。
當廢氣以電暈放電形式進入具有高壓電場的反應室時，同時進行三個凈化過程:
?、俸穗娨謮m效果:即使大量水霧顆粒和氣溶膠帶正電，也向負極板移動被吸附，然后在重力作用下向下流動，被收集排放。
?、诟邏弘婋x:在電離狀態下，帶有異味的分子被激發電離鍵斷裂，導致電離、破裂和分離。
?、垩趸?電離時，空氣中的水和氧氣也會在高能電子的轟擊下產生oh、o、O3等強氧化性物質。這些強氧化性物質會與氣味分子碰撞，將其氧化分解，終以CO2和H2O的形式排出。
低溫等離子體系統中的電子被增強的電場激發，這些高能電子與氣體分子(O2，H2O)碰撞，將氣體分子激發到高能級。由于能量的增加，高級分子的鍵斷裂，產生強氧化自由基o，oh，OH2。同時，VOC分子被高能電子碰撞激發，形成小的脆性基團和原子。這些碎片基團和有機分子在強氧化基團等活性離子的作用下被去除，終轉化為CO2、H2O等降解產物。
